atomun iç kabuğunda, yüksek hızlı elektron bombardımanıyla iç kabuktan elektron atılmasında ya da çekirdek etrafında dönen bir elektronun radyoaktif çöküntü sırasında çekirdek tarafından ele geçirilmesinde olduğu gibi, elektronların yeniden düzenlenmesi sonucu yayılan X Işınları

Ortaya çıkan ışınların dalga boyları elemente ve söz konusu enerjinin boyutlarına bağlıdır.